Dergiler / International Journal of Innovative Engineering Applications / 2021 / Cilt: 5 - Sayı: 1

MOVPE ile büyütülen GaN Epitabaka: Farklı Çekirdeklenme Tabakası Sıcaklığının Etkisi

The GaN Epilayer Grown by MOVPE: Effect of The Different Nucleation Layer Temperatures

Sayfa
6–10
Yayın Tarihi
2021-06-28
DOI
—
🏛️Bu makalenin bibliyografik verileri ve tam metin bağlantısı DergiPark üzerinden sağlanmıştır.
DergiPark Kaydı ↗
✨

Yapay Zeka Hızlı Bakış & Çıkarımlar

AI Insight
⚡ TL;DR(1 Cümlede Hızlı Çıkarım)

Yerinde yansıma eğrileri, daha yüksek LT-GaN büyüme sıcaklıklarının GaN çekirdeklenme adalarının hızlı birleşmesine (daha kısa geçiş süresi) neden olduğunu göstermektedir.

📌 3 Maddede Bu Makale

🎯
Amaç & Hipotez:Farklı çekirdek tabakası sıcaklıklarının (LT-GaN büyüme sıcaklığı), MOVPE tarafından büyütülen sonraki GaN epitabakasının özellikleri üzerindeki etkisi araştırılmıştır.
📊
Temel Bulgular & Veri:Sırasıyla, hem fotolüminesans (PL) hem de yüksek çözünürlüklü x-ışını kırınımı (HRXRD), LT-GaN büyüme sıcaklığının sonraki GaN epilayerinin optik ve yapısal özellikleri üzerindeki etkisini göstermek için kullanıldı.
💡
Sonuç & Katkı:Yerinde yansıma eğrileri, daha yüksek LT-GaN büyüme sıcaklıklarının GaN çekirdeklenme adalarının hızlı birleşmesine (daha kısa geçiş süresi) neden olduğunu göstermektedir.
🔬Tür:Araştırma Makalesi
📍Kapsam:Genişletilmiş Akademik Örneklem
⚙️Değişkenler:Metal Organik Buhar Faz Epitaksi · Galyum Nitrür · Epitaksi

Özet

Farklı çekirdek tabakası sıcaklıklarının (LT-GaN büyüme sıcaklığı), MOVPE tarafından büyütülen sonraki GaN epitabakasının özellikleri üzerindeki etkisi araştırılmıştır. Yerinde yansıma eğrileri, daha yüksek LT-GaN büyüme sıcaklıklarının GaN çekirdeklenme adalarının hızlı birleşmesine (daha kısa geçiş süresi) neden olduğunu göstermektedir. Sırasıyla, hem fotolüminesans (PL) hem de yüksek çözünürlüklü x-ışını kırınımı (HRXRD), LT-GaN büyüme sıcaklığının sonraki GaN epilayerinin optik ve yapısal özellikleri üzerindeki etkisini göstermek için kullanıldı. LT-GaN büyüme sıcaklığındaki değişimin hem HRXRD ölçümü sonuçlarından elde edilen yarı maksimumda tam genişlik (FWHM) değerleri hem de sarı lüminesans tepe yoğunluğu üzerinde etkisi olduğu görülmüştür. Örnekler için sarı lüminesans tepe yoğunluklarının LT-GaN büyüme sıcaklığı ile değiştiği görülmüştür.

Abstract

Effect of different nucleation layer temperatures (LT-GaN growth temperature) on the properties of the subsequent GaN epilayer grown by MOVPE is investigated. In-situ reflectance curves demonstrate that higher LT-GaN growth temperatures cause fast coalescence (shorter transition time) of GaN nucleation islands. Both photoluminescence (PL) and high-resolution x-ray diffraction (HRXRD) are used to demonstrate the influence of LT-GaN growth temperature on optical and structural properties of subsequent GaN epilayer, respectively. It is observed that the change of LT-GaN growth temperature has an effect on both full-width at half-maximum (FWHM) values obtained from the results of HRXRD measurement and yellow luminescence peak intensity. It is seen that the yellow luminescence peak intensities for samples alter with LT-GaN growth temperature.

🔖

Bu Makaleye Atıf Yap

ALTUNTAS, İ., ELAGÖZ, S. (2021). MOVPE ile büyütülen GaN Epitabaka: Farklı Çekirdeklenme Tabakası Sıcaklığının Etkisi. International Journal of Innovative Engineering Applications, Cilt: 5 - Sayı: 1, 6–10. https://ajindex.com/articles/672697

📄 Tam Metin PDF Okuyucu

📄

PDF görüntüleyici hazırlanıyor...

Kaynakça (11)

  1. Jain, S., Willander, M., Narayan, J., Overstraeten, R. V., “III–nitrides: Growth, characterization, and properties”, Journal of Applied Physics, 87(3):965-1006, (2000)
  2. Demir, I., “Growth temperature dependency of high Al content AlGaN epilayers on AlN/Al2O3 templates”, Cumhuriyet Science Journal, 39(3):728-733, (2018)
  3. Demir, I., Li, H., Robin, Y., McClintock, R., Elagoz, S., Razeghi, M., “Sandwich method to grow high quality AlN by MOCVD”, Journal of Physics D: Applied Physics, 51(8):085104 (2018)
  4. Demir, I., Robin, Y., McClintock, R., Elagoz, S., Zekentes, K., Razeghi, M., “Direct growth of thick AlN layers on nanopatterned Si substrates by cantilever epitaxy”, Physica Status Solidi (a), 214(4):1600363 (2017)
  5. Fan, X., Xu, S., Li, P., Zhang, J., Peng, R., Zhao, Y., Du, J., Hao, Y., “Nonpolar and semipolar ultraviolet multiple quantum wells on GaN/sapphire”, Materials Science in Semiconductor Processing, 92:103-107 (2019)
  6. Genç, M., Sheremet, V., Altuntaş, I., Demir, I., Gür, E., Elagöz, S., Gülseren, O., Özgür, U., Avrutin, V., Morkoç, H., “PECVD grown SiN photonic crystal micro-domes for the light extraction enhancement of GaN LEDs”, Gallium Nitride Materials and Devices XV, International Society for Optics and Photonics, 112800O (2020)
  7. Genç, M., Sheremet, V., Elçi, M., Kasapoğlu, A., Altuntaş, I., Demir, I, Eğin, G., Islamoğlu, S., Gür, E., Muzafferoğlu, N., “Distributed contact flip chip InGaN/GaN blue LED; comparison with conventional LEDs”, Superlattices and Microstructures, 128:9-13 (2019)
  8. Remesh, N., Kumar, S., Guiney, I., Humphreys, C. J., Raghavan, S., Muralidharan, R., Nath, D.,N., “A Novel Technique to Investigate the Role of Traps in the Off-State Performance of AlGaN/GaN High Electron Mobility Transistor on Si Using Substrate Bias”, Physica Status Solidi (a), 217(7):1900794 (2019)
  9. Robin, Y., Ding, K., Demir, I., McClintock, R., Elagoz, S., Razeghi, M., “High brightness ultraviolet light-emitting diodes grown on patterned silicon substrate”, Materials Science in Semiconductor Processing, 90:87-91 (2019)
  10. Taya, P., Singh, V., Jana, D., Tyagi, R., Sharma, T., “Optical characterization of InAlN/AlN/InGaN/GaN/sapphire high electron mobility transistor structures”, AIP Conference Proceedings, AIP Publishing LLC, 030467 (2019)
  11. Toci, G., Gizzi, L. A., Koester, P., Baffigi, F., Fulgentini, L., Labate, L., Hospodkova, A., Jary, V., Nikl, M., Vannini, M., “InGaN/GaN multiple quantum well for superfast