Dergiler / Afyon Kocatepe Üniversitesi Fen ve Mühendislik Bilimleri Dergisi / 2021 / Cilt: 21 - Sayı: 2

IGZO İnce Filme Dayalı Olarak Üretilen Heteroeklem Diyotun Elektriksel Özellikleri

Electrical Properties of The Heterojunction Diode Produced Based onIGZO Thin Film

Sayfa
257–265
Yayın Tarihi
2022-10-12
DOI
—
🏛️Bu makalenin bibliyografik verileri ve tam metin bağlantısı DergiPark üzerinden sağlanmıştır.
DergiPark Kaydı ↗
✨

Yapay Zeka Hızlı Bakış & Çıkarımlar

AI Insight
⚡ TL;DR(1 Cümlede Hızlı Çıkarım)

Bu çalışmadan elde edilen sonuçlar analiz edilmiş ve bulunan değerlerin birbirlerineyakın olduğu yorumu yapılmıştır.

📌 3 Maddede Bu Makale

🎯
Amaç & Hipotez:Bu çalışmada, PLD tekniği kullanarak oda sıcaklığındaki SLG ve p-Si wafer üzerine 5×$10^{-2}$ ve 7×$10^{-2}$ mbaroksijen gaz basıncı altında IGZO ince filmler üretilmiş ve 300o C sıcaklıkta tavlanmışlardır.
📊
Temel Bulgular & Veri:Oksijen gaz basıncı artarken, ince filmi oluşturan parçacıklarınboyutu büyümüştür. 7×$10^{-2}$ mbar oksijen gaz basıncı altında büyütülmüş ve tavlanmamış IGZO incefilme dayalı olarak IGZO/Si heteroeklem diyotu üretilmiş ve bu diyotun karanlık ve aydınlık şartlarda 𝐽 − 𝑉 eğrileri elde edilmiş, ideality faktörleri ve bariyer yükseklikleri hesaplanmıştır.
💡
Sonuç & Katkı:Bu çalışmadan elde edilen sonuçlar analiz edilmiş ve bulunan değerlerin birbirlerineyakın olduğu yorumu yapılmıştır.
🔬Tür:Araştırma Makalesi
📍Kapsam:Genişletilmiş Akademik Örneklem
⚙️Değişkenler:Alan Parametreleri

Özet

Bu çalışmada, PLD tekniği kullanarak oda sıcaklığındaki SLG ve p-Si wafer üzerine 5×$10^{-2}$ ve 7×$10^{-2}$ mbaroksijen gaz basıncı altında IGZO ince filmler üretilmiş ve 300o C sıcaklıkta tavlanmışlardır. IGZO incefilmler amorf yapıda büyümüşlerdir. Oksijen gaz basıncı artarken, ince filmi oluşturan parçacıklarınboyutu büyümüştür. 7×$10^{-2}$ mbar oksijen gaz basıncı altında büyütülmüş ve tavlanmamış IGZO incefilme dayalı olarak IGZO/Si heteroeklem diyotu üretilmiş ve bu diyotun karanlık ve aydınlık şartlarda 𝐽 − 𝑉 eğrileri elde edilmiş, ideality faktörleri ve bariyer yükseklikleri hesaplanmıştır. Aydınlık ortam için, 𝐽 − 𝑉, Cheung Cheung ve Norde metotları ile IGZO/Si heteroeklem diyotun 𝑛, 𝑅𝑠 and Ф𝑏 değerlerihesaplanmıştır. Bu çalışmadan elde edilen sonuçlar analiz edilmiş ve bulunan değerlerin birbirlerineyakın olduğu yorumu yapılmıştır.

Abstract

In this study, IGZO thin films were produced on SLG and p-Si wafer at low temperature, under oxygen gas pressure of 5×$10^{-2}$ and 7×$10^{-2}$ mbar, using PLD technique and these thin films were annealed at 300oC temperature. IGZO thin films were grown in amorphous structure. As the oxygen gas pressure was increased, the particle size in the thin films were increased. IGZO/p-Si heterojunction diode was produced based on IGZO thin film that was deposited under oxygen pressure in 7×$10^{-2}$ mbar and not annealed, and 𝐽 − 𝑉 curves of this diode in darkness and under the illumination condition were obtained and then its barrier height and idelaity factor were calculated. In an illumination condition, 𝑛, 𝑅𝑠 and Ф𝑏 values of IGZO/Si heterojunction diode were calculated by the traditional 𝐽 − 𝑉, Norde and Cheung Cheung methods. Results obtained in this work have been interpreted as well as concluded to be close to each other.

🔖

Bu Makaleye Atıf Yap

GEZGİN, S. Y., GÜNDOĞDU, Y., KILIÇ, H. Ş. (2022). IGZO İnce Filme Dayalı Olarak Üretilen Heteroeklem Diyotun Elektriksel Özellikleri. Afyon Kocatepe Üniversitesi Fen ve Mühendislik Bilimleri Dergisi, Cilt: 21 - Sayı: 2, 257–265. https://ajindex.com/articles/429663

📄 Tam Metin PDF Okuyucu

📄

PDF görüntüleyici hazırlanıyor...

Kaynakça (10)

  1. Altinkök, A., and Olutaş, M., 2020. Annealing temperature effects on surface morphology and optical properties of igzo thin films produced by thermal evaporation. Journal of Naval Sciences and Engineering, 16(1), 25-44.
  2. Azri, F., Labed, M., Meftah, A.F., Sengouga, N., and Meftah, A., 2016. Optical characterization of a-IGZO thin film for simulation of a-IGZO (n)/µ-Si (p) heterojunction solar cell. Optical and Quantum Electronics, 48(8), 391. Basman, N., 2017. Effect of a new methacrylic monomer on diode parameters of Ag/p-Si Schottky contact. Informacije MIDEM, 46(4), 190-96.
  3. Bedia, F.Z., Bedia, A., and Benyoucef, B., 2013. Electrical properties of ZnO/p-Si heterojunction for solar cell application. International Journal of Materials Engineering, 3(4), 59-65.
  4. Bedia, F.Z., Bedia, A., Benyoucef, B., and Hamzaoui, S., 2014. Electrical characterization of n-ZnO/p-Si heterojunction prepared by spray pyrolysis technique. Physics Procedia, 55, 61-67.
  5. He, B., Zhong Quan, M., Jing, X., Lei, Z., Nan Sheng, Z., Feng, L., Cheng, S., Ling, S., Cheng Yue, Z., and Zheng Shan, Y., 2009. Characterization of AZO/p-Si heterojunction prepared by DC magnetron sputtering. Materials science in semiconductor processing, 12(6), 248-52.
  6. Seong-Pil, C., and Byeong-Kwon, J., 2012. Ultraviolet and visible light detection characteristics of amorphous indium gallium zinc oxide thin film transistor for photodetector applications. International journal of advanced smart convergence, 1(1), 61-64. Chávez-Urbiola, I. R., Willars-Rodríguez, F. J., Bon, R. R., Vorobiev, P., and Vorobiev, Y. V., 2019. Development and characterization of photodiode n-ZnO/p-Si by Radio Frecuency Sputtering, a sensor with low voltage operation and its response to visible and UV light. Thin Solid Films, 669, 364-70.
  7. Chen, J., Wang, L., Su, X., Kong, L., Liu, G., and Zhang, X., 2010. InGaZnO semiconductor thin film fabricated using pulsed laser deposition. Optics Express, 18(2), 1398-405.
  8. Chen, X. F., He, G., Lv, J. G., Liu, M., Wang, P. H., Chen, X. S., and Sun, Z. Q., 2015. Modification of band offsets of InGaZnO4/Si heterojunction through nitrogenation treatment. Journal of Alloys and Compounds, 647, 1035-39.
  9. Cheung, S. K., and Cheung, N. W., 1986. Extraction of Schottky diode parameters from forward current‐ voltage characteristics. Applied Physics Letters, 49(2), 85-87.
  10. Cho, M. H., Seol, H., Yang, H., Yun, P. S., Bae, J. U., Park, K. S., and Jeong, J. K., 2018. High-performance amorphous indium gallium zinc oxid