SavedAdd your journal

Journals / Makina Tasarım ve İmalat Dergisi / 2009 / Cilt: 11 - Sayı: 1

Bor Nitrür Kaplamaların Çelik Alt Malzemeler Üzerinde RF Magnetron Saçtırma Yöntemiyle Büyütülmesi

Halil CESUR
Bilgin KAFTANOĞLU
Ali KALKANLI
Baybars ORAL
Pages
15–21
Publication Date
2009-05-01
DOI
—
🏛️Bibliographic metadata and full text access for this article are provided via DergiPark.
DergiPark Record ↗
✨

AI Summary & Key Takeaways

AI Insight
⚡ TL;DR(Too Long; Didn't Read)

Çelik örnekler üzerindeki kaplamaların mekanik özellikleri ise kalınlık, sürtünme katsayısı, aşınma ve yapışkanlık ölçümleriyle belirlenmiştir.

📌 3 Key Takeaways

🎯
Objective & Hypothesis:Bor nitrür kaplamalar Silikon ve çelik alt malzemeler üzerinde radyo frekanslı (rf) magnetron saçtırma yöntemiyle hekzagonal bor nitrür hedef plaka kullanılarak büyütülmüştür.
📊
Key Findings & Data:Büyütme işlemi gaz oranı 5 e 1 olacak şekilde Argon ve Azot gaz karışımında ve 3x10-3 Torr basınç altında gerçekleştirilmiştir.
💡
Conclusion & Impact:Çelik örnekler üzerindeki kaplamaların mekanik özellikleri ise kalınlık, sürtünme katsayısı, aşınma ve yapışkanlık ölçümleriyle belirlenmiştir.
🔬Design:Research Article
📍Scope:Comprehensive Sample
⚙️Variables:Bor Nitrür · Magnetron Saçtırma · Yüksek Hız Çeliği

Özet

Bor nitrür kaplamalar Silikon ve çelik alt malzemeler üzerinde radyo frekanslı (rf) magnetron saçtırma yöntemiyle hekzagonal bor nitrür hedef plaka kullanılarak büyütülmüştür. Büyütme işlemi gaz oranı 5 e 1 olacak şekilde Argon ve Azot gaz karışımında ve 3x10-3 Torr basınç altında gerçekleştirilmiştir. Büyütme işleminde ana parametreler olan alt malzeme (bias) voltajı ve ortam sıcaklığının etkileri araştırılmıştır. Çalışmanın amacı bor nitrür kaplamaların alt malzeme yüzeylerinde oluşturularak metal kesme işleminde kullanılabilmesi için gerekli sertlik ve yapışkanlığı elde etmektir. Deneyler sonucu elde edilen kaplamaların nitelendirilmesi için Fourier transform kızılötesi spektroskopisi (FTIR), X-Ray fotoelektron spektroskopisi (XPS) ve Taramalı Elektron Mikroskobu (SERI) teknikleri kullanılmıştır. Çelik örnekler üzerindeki kaplamaların mekanik özellikleri ise kalınlık, sürtünme katsayısı, aşınma ve yapışkanlık ölçümleriyle belirlenmiştir.

🔖

Cite This Article

CESUR, H., KAFTANOĞLU, B., KALKANLI, A., ORAL, B. (2009). Bor Nitrür Kaplamaların Çelik Alt Malzemeler Üzerinde RF Magnetron Saçtırma Yöntemiyle Büyütülmesi. Makina Tasarım ve İmalat Dergisi, Cilt: 11 - Sayı: 1, 15–21. https://ajindex.com/articles/60584

📄 Full Text PDF Viewer

📄

PDF görüntüleyici hazırlanıyor...

References (15)

  1. Prouch J.-J., Alterovitz S.-A., Synthesis and Properties of Boron Nitride, Materials Science Forum, Vol 54&55 (1990), Trans Tech Publications
  2. Willa G., Perkins P.-G., Is there a new form of boron nitride with extreme hardness?, Diamond and Related Materials 10 (2001) 2010_2017
  3. Audronis M., Valiulis A.-V., Silickas P., Recent Developments in the Deposition of c-BN Coatings, ISSN 1392-1320 Materials Science (MED2IAGOTYRA), Vol. 10, No. 2. (2004
  4. Kimura Y., Wakabayashi T., Okada K., Wada T., Nishikawa H., Boron nitride as a lubricant additive, Wear 232_1999.199-206
  5. Klages C.-P., Fryda M., Matthke T., Schsfer L., Dimigen H., Diamond and c-BN Coatings for Tools, International Journal of Refractory Metals & Hard Materials 16 (1998) 171-176
  6. Neo K.-S., Rahman M., Li X.-P., Khoo H.-H., Sawa M., Maeda Y., Performance evaluation of pure c-BN tools for machining of steel, Journal of Materials Processing Technology 140 (2003) 326-331
  7. Jin M., Watanabe S., Miyake S., Murakawa M., Trial fabrication and cutting performance of c-BN-coated taps, Surface and Coatings Technology 133-134 (2000) 443-447
  8. Zhou Z.-F., Bello I., Kremnican V., Fung M.-K., Lai K.-H., Li K.-Y., Lee C.-S., Lee S.-T., Formation of cubic boron nitride films on nickel substrates, Thin Solid Films 368 (2000) 292-296
  9. Deng J., Wang B., Tan L., Yan H., Chen G., The growth of cubic boron nitride films by RF reactive sputter, Thin Solid Films 368 (2000) 312-31
  10. Zhu P. -W., Zhao Y. -N., Wang B., He Z., Li D. -M., Zou G. —T., Prepared Low Stress Cubic Boron Nitride Film by Physical Vapor Deposition, Journal of Solid State Chemistry 2002 167, 420-424
  11. Ye J., Rothaar U., Oechsner H., Conditions for the formation of cubic boron nitride films by r.f magnetron sputtering, Surface and Coatings Technology 105 (1998) 159-164
  12. Tzeng Y., Zhu H., Electron-assisted deposition of cubic boron nitride by r.f. magnetron sputtering, Diamond and Related Materials 8 (1999) 1402-1405
  13. Hu C., Kotake S., Suzuki Y., Senoo M., Boron nitride thin filim synthesized by reactive sputtering, Vacuum 59 (2000) 748-754
  14. Zhao Y.-N., Wang B., Yu S., Tao Y.C., He Z., Li D.M., Zou G.T., Preparation of c-BN films by RF sputtering and the relation of BN phase formation to the substrate bias and temperature, Thin Solid Films 320 (1998) 220-222
  15. Jiang L., Fitzgerald A.-G., Rose M.J., Lousa A., Gimeno S., Formation of cubic boron nitride by r.f. magnetron sputtering, Surface Interface Analysis 20