Dergiler / Selçuk Üniversitesi Fen Fakültesi Fen Dergisi / 2019 / Cilt: 45 - Sayı: 2
Yüksek Basınç Saçtırma Yönteminin Yoğunluk Modülasyonlu İTO İnce Filmlerin Optik Özelliklerine Etkisinin İncelenmesi
- Sayfa
- 197–208
- DOI
- —
Özet
Verimli bir Si-tabanlı güneş hücresi için yüksek geçirgenliğe sahip saydam iletken elektrot kullanmak önemli bir ayrıntıdır. Bu amaçla kullanılan indiyum kalay oksit (İTO) aynı zamanda yansıma önleyici kaplama görevini de yerine getirir. Bu çalışmada, alçak basınç püskürtme (ABP) ve yüksek basınç püskürtme (YBP) yöntemleri ile üretilen farklı malzeme yoğunluklarına sahip iki katmanın bir araya getirilmesi ile oluşturulan yoğunluk modülasyonlu İTO ince filmlerin yansıma önleyici olarak davrandığı ve geçirgenliği düşürdüğü gösterilmiştir. YBP ile elde edilen İTO ince filmin üst tabaka olarak kullanıldığı durumda morfolojisinin daha pürüzlü hale geldiği ve her kalınlık değeri için geçirgenliğin daha yüksek olduğu gözlemlenmiştir. Buna bağlı olarak, bu numunelerde çok yönlü yansımanın daha düşük olduğu gösterilmiştir. YBP-İTO katmanın üzerine sentezlenen nanoyapıların oldukça homojen olması ayrıca bir avantajdır. Sonuç olarak, YBP yöntemi daha kullanışlı bir İTO katmanı üretimi için basit ama etkili bir yöntem olduğunu ispatlamıştır.
Abstract
Having a high quality transparent conductive electrode is one of the critical parameters for high efficient Si-based photovoltaic device. Indium tin oxide (ITO), used for this purpose, also behaves as an anti-reflective coating. In this study, it was shown that the density modulated ITO thin films obtained by the combination of the low pressure sputter (LPS) and high pressure sputter (HIPS) layers behave anti-reflective coating as improve the transmission. The density modulated thin film whose upper layer was grown by HIPS has shown a more porous morphology and lower transmission for all thickness values. Besides, it was also observed that the omnidirectional reflection is lower. Additionally, the more homogenous property of the synthesized silicon nanostructures on HIPS-ITO is another beneficial finding. Thus, HIPS has claimed that it is a simple yet effective way of producing more efficient ITO layer