Dergiler / Düzce Üniversitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi / 2019 / Cilt: 7 - Sayı: 3
Ultrasonik Sprey Piroliz ile Üretilen Flor Katkılı Kalay Oksit İnce Filmlerin Yapısal, Morfolojik, Optiksel ve Elektriksel Analizleri
- Sayfa
- 2107–2115
- DOI
- —
Özet
Bu çalışmada yüksek şeffaflığa sahip Flor katkılı Kalay Oksit ince filmleri ultrasonik sprey piroliz tekniği ile başarılı bir şekilde üretilmiştir. İnce filmlerin yapısal ve morfolojik karakterizasyonu için X-ışını kırınımı, taramalı elektron mikroskobu ve atomik kuvvet mikroskobu analizleri yapılmıştır. X-ışını kırınımı desenleri göstermiştir ki filmler polikristal haldedir ve (200) tercihli yönelimi boyunca büyümüşlerdir. 3,16 eV’luk bir band aralığı UV-Vis ölçümlerinden elde edilmiştir. İnce filmlerin öz direnci 1,35×10-3W-cm olarak bulunmuştur.
Abstract
In this study, Fluorine doped Tin Oxide (FTO) thin films with high transparency were fabricated by ultrasonic spray pyrolysis technique, successfully. The analyses of X-ray diffraction, scanning electron microscopy and atomic force microscopy were used for the structural and morphological characterization of the thin films. X-ray diffraction patterns showed that the films were polycrystalline and grow along to preferred orientation of (200). The band gap value of 3.16 eV was obtained from UV-Vis measurements. The resistivity of the thin films was found to be as 1.35×10-3W-cm.