Dergiler / Avrupa Bilim ve Teknoloji Dergisi / 2018 / Sayı: 14
Sn-Se-Te İnce Filmlerinin Üretimi ve Yapısal Karakterizasyonu
- Sayı
- 2018 · Sayı: 14
- Sayfa
- 343–347
- DOI
- —
Özet
Bu çalışmada Se ve Te değişiminin fiziksel buharlaştırma tekniği (FBT) ile üretilmiş SnSeTe (TSeTe) ince filmlerinin yapısal ve morfolojik özelliklerine etkisi incelenmiştir. Bu filmlerin yapısal ve morfolojik özelliklerini belirlemek için XRD ( X-ışını Kırınım Deseni), SEM( Taramalı Elektron Mikroskobu), EDXA (Enerji Dağılımlı X-ışını Analizi), Raman Analizi ve AFM (Atomik Kuvvet Mikroskobu) ölçümleri yapılmıştır. Ardından ısının film özelliklerine etkisini gözlemlemek için üretim sonrası farklı sıcaklıklarda tavlama işlemleri uygulanmıştır.
Abstract
In this study, the effects of Se and Te substitution on structural and morphological properties of SnSeTe (TSeTe) thin films are studied. TSeTe thin films are fabricated by using the physical vapor deposition (PVD). In order to determine the structural and morphological properties of these films, XRD (X-ray diffraction), SEM (Scanning electron microscopy), EDXA (Energy dispersive X-Ray analysis), Raman Analysis, and AFM (Atomic Force Microscopy) measurements are carried out. Then, different post-annealing processes are applied to figure out the heat treatment effects on the thin film properties