Dergiler / Turkish Journal of Physics / 1995 / Cilt: 19 - Sayı: 11Quasi-optical Fourier scatterometerVadim N. DERKATCH,Alex A. VERTIYDergiTurkish Journal of PhysicsSayı1995 · Cilt: 19 - Sayı: 11Sayfa1452–1456DOI—