Journals / Gazi Üniversitesi Fen Bilimleri Dergisi Part C: Tasarım ve Teknoloji / 2016 / Cilt: 4 - Sayı: 3

InGaAsP/InP YAPISININ YAPISAL, MORFOLOJİK VE ELEKTRİKSEL KARAKTERİZASYONLARI

Pages
159–163
DOI
—

Özet

Bu çalışmada, InGaAsP tabakası InP alttaş üzerine Moleküler Demet Epitaksi (MBE) tekniği kullanılarak büyütüldü. InGaAsP/InP yapısının yapısal ve morfolojik özellikleri yüksek çözünürlüklü x‒ray kırınımı (HR‒XRD) ve atomik kuvvet mikroskobu (AFM) ölçümleri ile incelendi. Ayrıca, InGaAsP/InP yapısının deneysel ileri ve ters beslem akım‒voltaj (I‒V) karakteristiği oda sıcaklığında incelendi. İdealite faktörü, bariyer yüksekliği ve seri direnç gibi temel elektriksel parametreler ileri beslem I‒V karakteristiğinden belirlendi.

Keywords: InGaAsP/InP yapısı, MBE tekniği, HR‒XRD, AFM, I‒V karakteristik