Journals / Erciyes Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fen Bilimleri Dergisi / 2012 / Cilt: 28 - Sayı: 5
Thin film production techniques
- Pages
- 389–404
- DOI
- —
Abstract
Thin films forming the basis of electronic device technology have gained a great acceleration between the research and development studies in recent years. The resulting performance obtained from the thin films having a wide range of using area, is very important parameter, and this is also directly related to the production techniques. Differences in production techniques and production conditions in thin films, reveals many properties not being in bulk materials. These properties give superior properties to thin-film materials than bulk materials, and lead the way for new studies by the development of technology. New production technologies have emerged and developed as an alternative to each other in production of thin films. In this study solid, liquid and gas phases in three different with sub-types of these techniques are described in detail and also investigations of their advantages and disadvantages are intended. Furthermore, the parameters such as Ph value of the solution, temperature and reaction time, solvent concentration, structure and concentration of the used catalyzer, annealing temperature and annealing time, drying and drying atmosphere, substrate are investigated the effect on film quality, film thickness and production cost.
Özet
Son yıllarda yapılan araştırma ve geliştirme çalışmaları arasında büyük bir ivme kazanan ince filmler, elektronik aygıt teknolojisinin temelini oluşturmaktadır. Çok geniş bir yelpazede kullanım alanına sahip olan ince filmlerden elde edilen performans oldukça önemli bir parametredir. Bunun nedeni elde edilen performanıns üretim teknikleriyle doğrudan ilişkili olmasıdır. Üretim teknikleri ve üretim koşullarındaki farklılıklar ince filmlerde hacimli malzemelerde bulunmayan pek çok özelliği ortaya çıkarmaktadır. Bu özellikler, ince film malzemelere hacimli malzemelere göre üstün özellikler kazandırmakta ve yeni çalışmaların önünü açmaktadır. Teknolojinin gelişmesiyle birlikte ince filmlerin üretilmesinde birbirine alternatif olabilecek yeni üretim teknolojileri ortaya çıkmış ve geliştirilmiştir. Bu çalışmada katı, sıvı ve gaz olmak üzere üç farklı fazda gerçekleştirilen bu teknikler alt türleriyle detaylı bir şekilde anlatılmış, avantaj ve dezavantajlarının incelenmesi amaçlanmıştır. Ayrıca, çözeltinin pH değeri, sıcaklığı ve reaksiyon zamanı, çözücü konsantrasyonu, kullanılan katalizörlerin yapısı ve konsantrasyonu, tavlama sıcaklığı ve süresi, kurutma ve kurutma atmosferi, alttaş gibi parametrelerin film kalitesine, filmin kalınlığına ve üretim maliyetine etkisi araştırılmıştır.