Journals / Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi / 2019 / Cilt: 22 - Sayı: 1

DC Magnetron Püskürtme Yöntemi ile Ag İnce Filmlerin Geliştirilmesi: Çok İnce Pt Ara-katmanın Rolü

Pages
32–37
Publication Date
2019-04-05
DOI
—
🏛️Bibliographic metadata and full text access for this article are provided via DergiPark.
DergiPark Record ↗
✨

AI Summary & Key Takeaways

AI Insight
⚡ TL;DR(Too Long; Didn't Read)

Pt ara-katman oluşturulmasının Ag filminin iletkenliğini artırması yanında kızılötesi yansıtıcılığını da artırdığı gözlendi.

📌 3 Key Takeaways

🎯
Objective & Hypothesis:Bu çalışmada, ince (~ 10 nm) Ag filmleri cam alttaşlar üzerine farklı sürelerde DC magnetron püskürtme yöntemi ile kaplandı.
📊
Key Findings & Data:Ayrıca Ag’nin cam yüzeyine tutunması ve iletkenliğinin iyileştirilmesine destek olması hedefi ile çok ince (~ 2 nm) Pt ara-katmanı cam yüzeyine püskürtülerek Ag/Pt/cam numuneleri üretildi.
💡
Conclusion & Impact:Pt ara-katman oluşturulmasının Ag filminin iletkenliğini artırması yanında kızılötesi yansıtıcılığını da artırdığı gözlendi.
🔬Design:Research Article
📍Scope:Comprehensive Sample
⚙️Variables:İnce Ag Film · Pt Ara-katman · Cam Alttaş

Özet

Bu çalışmada, ince (~ 10 nm) Ag filmleri cam alttaşlar üzerine farklı sürelerde DC magnetron püskürtme yöntemi ile kaplandı. Ayrıca Ag’nin cam yüzeyine tutunması ve iletkenliğinin iyileştirilmesine destek olması hedefi ile çok ince (~ 2 nm) Pt ara-katmanı cam yüzeyine püskürtülerek Ag/Pt/cam numuneleri üretildi. Analiz sonuçlarından, hazırlanan her bir filmin kübik yapıda, < 1 nm yüzey pürüzlülük değerine ve 5 ohm/kare’den daha düşük yüzey direncine sahip olduğu belirlendi. Ag(9nm)/Pt(2nm)/cam numunesinin 3.02 ohm/kare’lik yüzey direnci ve 0.596 nm’lik RMS yüzey pürüzlülüğü değeri ile diğer hazırlanan numunelere göre daha iyi elektriksel ve morfolojik özelliklere sahip olduğu görüldü. Pt ara-katman oluşturulmasının Ag filminin iletkenliğini artırması yanında kızılötesi yansıtıcılığını da artırdığı gözlendi.

🔖

Cite This Article

SÖNMEZ, N. A. (2019). DC Magnetron Püskürtme Yöntemi ile Ag İnce Filmlerin Geliştirilmesi: Çok İnce Pt Ara-katmanın Rolü. Kahramanmaraş Sütçü İmam Üniversitesi Mühendislik Bilimleri Dergisi, Cilt: 22 - Sayı: 1, 32–37. https://ajindex.com/articles/876536

📄 Full Text PDF Viewer

📄

PDF görüntüleyici hazırlanıyor...

References (11)

  1. Akin Sonmez, N., Donmez, M., Comert, B., Ozcelik, S. (2018). Ag/M-seed/AZO/glass structures for low-E glass: Effects of metal seeds, International Journal of Applied Glass Science, 9(3), 383-391.
  2. Cattin, L., Bernède, J.C., Morsli, M. (2013). Toward indium-free optoelectronic devices: Dielectric/metal/dielectric alternative transparent conductive electrode in organic photovoltaic cells, Pysica Stat. Sol. A, 210(6), 1047-1061.
  3. Ding, G., Clavero, C., Schweigert, D., Le, M. (2015). Thickness and microstructure effects in the optical and electrical properties of silver thin films, AIP Advances, 5(11), 117234. Fukuda, K., Lim, S.H., Anders, A. (2008). Coalescence of magnetron-sputtered silver islands affected by transition metal seeding (Ni, Cr, Nb, Zr, Mo, W, Ta) and other parameters, Thin Solid Films, 516, 4546-4552.
  4. Greenbank, W., Hirsch, L., Chambon, S. (2018). Electrode de-wetting as a failure mechanism in thermally-aged OPV devices, Solar Energy Materials and Solar Cells, 178, 8-14.
  5. Hagen, E., Uber Rubens, H. (1903).“Beziehungen des Reflexions-und Emissionsvermogens der Metalle zu ihrem elektrischen Leitvermogen, Ann Phys. 316, 873-901.
  6. Hojabri, A., Kavyani, Z., Ghoranneviss, M. (2017). Effect of substrate temperatures on structural and morphological properties of nano-crystalline silver thin films grown on silicon substrates, Journal of Inorganic and Organometallic Polymers and Materials, 27(1), 53-60.
  7. Huang, J., Liu, X., Lu, Y., Zhou, Y., Xu, J., Li, J., Tan, R. (2018). Seed-layer-free growth of ultra-thin Ag transparent conductive films imparts flexibility to polymer solar cells, Solar Energy Materials and Solar Cells, 184, 73-81.
  8. Jung, Y.S. (2004). Study on texture evolution and properties of silver thin films prepared by sputtering deposition, Applied Surface Science, 221(1-4), 281-287.
  9. Kim, W.M., Ku, D.Y., Lee, K.S., Cheong, B. (2010). Effect of oxygen content and deposition temperature on the characteristics of thin silver films deposited by magnetron sputtering, Applied Surface Science, 257(4), 1331-1336.
  10. Linnet, J., Walther, A.R., Wolff, C., Albrektsen, O., Mortensen, N.A., Kjelstrup-Hansen, J. (2018). Transparent and conductive electrodes by large-scale nano-structuring of noble metal thin-films, Optical Materials Express, 8(7), 1733-1746.
  11. Mashaiekhy, J., Shafieizadeh, Z., Nahidi, H. (2002). Effect of substrate temperature and film thickness on the characteristics of silver thin films deposited by DC magnetron sputtering, The European Physical Jo