Journals / Düzce Üniversitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi / 2017 / Cilt: 5 - Sayı: 1

Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi

Pages
84–95
Publication Date
2022-10-12
DOI
—
🏛️Bibliographic metadata and full text access for this article are provided via DergiPark.
DergiPark Record ↗
✨

AI Summary & Key Takeaways

AI Insight
⚡ TL;DR(Too Long; Didn't Read)

Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen model iletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimli çalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecek parametrelerin tespitinde kullanılmıştır.

📌 3 Key Takeaways

🎯
Objective & Hypothesis:Bu çalışmada, metan (CH4) plazma gazı akış hızı değiştirilerek üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir.
📊
Key Findings & Data:Değerlendirmeler sonucunda, CH4 akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir etkisi olmadığı tespit edilmiştir.
💡
Conclusion & Impact:Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen model iletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimli çalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecek parametrelerin tespitinde kullanılmıştır.
🔬Design:Modeling & Simulation
📍Scope:Comprehensive Sample
⚙️Variables:Amorf ince filmler · Optik bant aralığı · Geçirgenlik spektrokopisi

Özet

Bu çalışmada, metan (CH4) plazma gazı akış hızı değiştirilerek üretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bant aralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmeler sonucunda, CH4 akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan bir etkisi olmadığı tespit edilmiştir. Bunun yanı sıra, CH4 gazının akış hızının optik bant aralığı değerlerine bağlılığının doğrusal olmadığı açığa çıkarılmıştır. Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen model iletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimli çalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecek parametrelerin tespitinde kullanılmıştır.

🔖

Cite This Article

GÖKŞEN, K., ŞİMŞEK, T. (2022). Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi. Düzce Üniversitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi, Cilt: 5 - Sayı: 1, 84–95. https://ajindex.com/articles/494598

📄 Full Text PDF Viewer

📄

PDF görüntüleyici hazırlanıyor...

References (12)

  1. X. Gillon, L. Houssiau, Plasma Sources Sci. Technol., 23 (2014) 045010
  2. M. V. Jacob, C. D. Easton, G. S. Woods and C. C. Berndt, Thin Solid Films 516(12) (2008) 3884
  3. F. F. Shi, Surf. Coatings Technol., 82(1-2) (1996) 1-15
  4. D. C. Green, D. McKenzie, P. Lukins, Mater. Sci. Forum, 52 (1990) 103
  5. J. Robertson, Surf. Coat. Technol., 50(3) (1992) 185
  6. J. Robertson, Mater. Sci. Eng. R Reports, 37(4) (2002) 129
  7. MW. Geis, MA. Tamor, Encyclopedia of Applied Physics. VCH, New York, (1993) 1-24
  8. H. T. Kim, S. H. Sohn, Vacuum, 86(12) (2012) 2148
  9. H. Tsai, Materials Science Forum, 52 (1990) 71
  10. C. Temirci, M. Gülcan, K. Gökşen, M. Sönmez, Microelectron. Eng., 87(11) (2010) 2282
  11. K. Gökşen, N. M. Gasanly, Journal of Physics and Chemistry of Solids, 69(10) (2008) 2385
  12. H. Kızılçaoğlu, K. Gökşen, Y. Köysal, Düzce Üni versitesi Bilim ve Teknoloji Dergisi, 4(1) (2016) 317.