Elmas ince filmlerinin üretimi, modifikasyonu ve kullanım alanları

Özet

Bu makalede, elmas benzeri karbon ve hidrojen emdirilmiş elmas benzeri karbon malzemeleri arasındaki yapısal farkları analiz etmek ve bu malzemelerin üretim yöntemlerini tanımlamak amaçlanmıştır. Elmas benzeri filmler, kimyasal ve fiziksel buhar biriktirme teknikleri ile üretilebilmektedir. Birbirinden farklı bir çok teknik/metot kullanıldığından elmas benzeri filmlerin fiziko-kimyasal özellikleri değişmektedir. Genelde elmas benzeri filmler, birçok uygulamalar için aranan karakteristiklere sahiptir. Bu karakteristikler, biriktirme tekniği ve proses parametreleri ile değişim göstermektedir. Plastik lenslerde koruyucu kaplama, elektrik devresi uygulamaları, kesici takım uygulamaları ve aşırı yükler altında çalışan makina parçaları vb. elmas benzeri filmlerin uygulama alanlarından bazılarıdır.

Abstract

This paper will analyze the structure differences between diamond-like carbon and hydrogenated diamond-like and highlight some methods for producing thin films of this hard carbons. Diamond-like films can be deposited by chemical vapour deposition and physical vapour deposition. Because diamond like films have been generated using a wide variety of techniques, the physico-chemical properties of , such films vary considerably. In general diamond-like films have characteristics that are desirable in a number of applications. These characteristics can be changed by varying the deposition techniques and process parameters. Some of the applications include using diamond-like films as protective coatings on windows, electrical device cutting tools and machine part under high toads etc.